氦检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是一种专门用于检测氦气的质谱仪，是一种高精度的气体分析仪器，可以检测极小浓度的氦气。其内部有一套高真空系统，以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后，首先会在离子源处被电离，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体（氦气）的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。