氦质谱检漏的基本原理是利用氦气的低渗透性和惰性来检测工件的泄漏情况。将氦气注入待检工件中,并将氦检仪器连接到泄漏点附近。通过控制氦气的流量和压力,使得氦气从泄漏处渗透出来并扩散到周围环境中。同时,氦检仪器会实时检测周围环境中氦气浓度变化。当检测到氦气浓度超过设定的阈值时,就可以确定泄漏的位置和大小。
常用的氦检方法有:
1 常压累积氦检法
2 真空氦检法
3 吸枪法
4 喷氦法(负压法)
5 压氦法
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