真空氦检系统

应用案例：

1 水冷板气密性检测

2 其他；如电芯、热交换器等

检测方法介绍

将充满氦气的被测工件置于一个密闭的真空腔体中（低于0.1KPa），被测工件内部气压根据检测要求设定，在真空腔体上接氦质谱检漏仪，如果工件有泄露，则被测工件内部的气体会通过缺陷孔泄漏到真空腔体中，腔体内氦分子的浓度就会升高，通过检测真空腔体内氦浓度的变化就可以推断被测工件的泄露情况，这就是真空氦检法。

优点

1 非常灵敏，可检测低至10-10mbar.L/s的泄漏，满足业内冷板气密检测要求；

2 使用高浓度氦气，氦气可回收，氦气使用成本低；

3 节拍快，满足业内生产节拍的要求；

4 测试结果准确可靠，且重复性高，波动在10%内，不受温度、湿度、体积形变等影响；

5 是一种整体法测试，被测工件所有的泄漏均能检测到，不会出现漏检；

该方法适合哪些待检产品？

1 能承受较大的内外压差

2 气密检测要求高