氦质谱检漏的优点

1 精度高，氦质谱检漏可以达到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度，可以通过标准漏孔进行计量，并且重复性非常好。

2 快速，尽快定位并修复漏点可以节省时间。氦质谱检漏能够快速得到结果，响应时间一般仅需几秒至几十秒。

3 可定位漏点，喷氦法，吸枪法等比较常见的氦质谱检漏方法可以确定泄漏的位置，便于后期处理漏孔或改进工艺。

4 不受温度、产品形变、内表面放气等的影响，不会弄湿或污染工件。