为什么用氦气作为示踪气体

根据示踪气体测量技术的使用场所和使用特点。检漏仪对示踪气体的要求有以下几点：

1.无害：不能对人体、环境、被检件、检漏仪造成污染、伤害或是存在安全隐患；

2.质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝：

3.化学性质稳定，不会起化学反应或易燃易爆；

4.最好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。

氦气作为惰性气体完美符合以上条件。

目前，绝大部分检漏仪的示踪气体采用的是氦气。一般检漏都用氦气（He）作为示踪气体，也有用氢气（H2）作为示踪气体的。氢和氦都是比较理想的示踪气体:空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下， 直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题（存在爆炸风险），所以实际大部分检漏使用的是氦气。

氦质谱检漏仪选择氦气作示踪气体，主要原因如下

1.氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2.氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4.在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开。定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰。因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

5.氦在被检件及真空系统中不易被吸附，这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。