详细信息
UL1000 Fab将工厂环境系统内的易用性、泄漏检测效率和机动性作为优先考虑因素，在整个测量范围内都能做出极快的漏率响应。UL1000 Fab采用经过优化的真空结构，兼具高速氦抽速与高进气口压强的优点，漏率稳定性降低至前所未有的5 × 10-12 atm cc/s。专有软件I•CAL (漏率智能算法)解决了低漏率范围内响应时间较长的问题，因为UL1000 Fab能够对所有漏率范围快速做出响应。通过增加TC1000测试室附件，UL1000Fab氦气泄漏检测仪能够简单、快速、精确地测试密封件，例如集成电路组件、石英晶体和激光二极管(根据MIL-STD 883标准，方法1014)。
优势
•检测效率高
通过缩短抽空时间和响应时间，可最大程度地加快检漏速度。
选择本底抑制(I·ZERO)功能，可避免反复多次检漏。
•高成本效益
配备经久耐用的双灯丝离子源(保修期3年)和逆流式真空系统，降低总体拥有成本(TCO)。
•易于使用和集成
采用紧凑型设计，方便进入空间受限的维修区域。
配备旋转显示单元、声光泄漏提示及可选配的遥控器，使用简便。
•低维护
内置测试漏孔带自动校准程序，维护量低。
应用
泄漏测试对象：
•元件
•工艺室
•次组装件
与以下设备一同使用：
•半导体工具
•平板显示工具
•密闭性封闭电子元件的试漏
先进的软件自动泄漏测试功能
此功能控制测试周期，并允许输入以下测试参数：
•测量周期时间
•泄漏率设定值
•测试的试件数
测试周期的状态始终可以在显示器上监控。可选试验箱TC1000(TC1000试验箱 [} 12])在便于使用的工作站中转动UL3000，以测试密封部件。
箱盖关闭时，测试自动开始。检测周期短(10-9 mbar l/s，时间不超过5秒)。测试状态始终可以在显示器上监控。经过调整的周期时间后，测试停止，并将箱体排气。可选择的“待机”模式可在停止泄漏测试的同时保持箱内处于真空状态。保护功能防止重大泄漏造成的氦污染，并确保连续运行。
