详细信息
真空检漏仪UL3000 Fab，PLUS、ULTRA
凭借我们大获成功的最新一代UL系列智能产品，将为您的工艺设备减少维护，甚至比从前更加安全。在泄漏检测期间，您的处理设备将不会受到污染。所有泄漏都将被可靠地检测出来。维护后，一定能够通过耗时的压力上升测试。
UL3000 Fab干式氦检漏仪的设计适用于需要最高清洁度的各种应用，例如，清洁室内半导体制造设备的维护和生产。
优势
•节省时间
通过I·CAL软件算法节省时间，实现快速测量，测量范围为10-9 - 10-12 mbar l/s。
•检测效率高
I·ZERO 2.0适用于快速背景抑制。抽空和响应速度快，将泄漏工作量降至最低。
•高成本效益
采用功能强大的离子源和逆流真空系统，低使用成本。
•易于使用和集成
配备全彩高清可旋转显示屏的HMI界面，使用简便，提供直观操作指导。
应用
•半导体行业
•太阳能行业
•激光技术
•医疗技术
•以及电子器件、加速器、涂层系统、气体供应系统、显示工具、密封电子设备的泄漏检测等
